產品信息
產品介紹
DPH 系列氣動隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低漏率，超長使用壽命，穩(wěn)定快速的側進氣執(zhí)行機 構；適用于超高純 度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 真空至 300psig
爆破壓力 3000psig
流量系數(shù) 0.5
工作溫度 -10 ～ 70℃
內漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內表面粗糙度 Ra≤0.1μm
產品特點
適合超高純度氣體應用
Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
快速、可重復執(zhí)行的氣動執(zhí)行機構
每臺閥門進行單獨的氦質譜檢測
超長使用壽命（400 萬次實驗值）
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2024-11-21
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中科艾爾
中科艾爾（北京）科技有限公司[原泰科愛爾（北京）科技有限公司]是專業(yè)研發(fā)、生產氣體管閥件的廠家。
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